某压电式压力传感器为两片石英晶片并联 每片厚度t=0.2mm 圆片半径r=1cm 相对介电常数εr=4.5 x切型d11=2.31×
晶片,常数,半径
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某压电式压力传感器为两片石英晶片并联,每片厚度t=0.2mm,圆片半径r=1cm,相对介电常数εr=4.5,x切型d11=2.31×10-12C/N。当p=0.1MPa的压力垂直作用于晶片之上时,求传感器输出电荷量q和电极间电压Ua的值。
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当两片石英晶片并联时,输出电荷量为单片的2倍,所以
q=2d11pπr2=2×2.31×10-12×0.1×106×π×12×10-4=145×10-12=C=145pC
并联后的总电容量也为单片的2倍,所以
Ca=ε0εrπr2/t
=(2×8.85×10-12 F/m×4.5×π×12×10-4 m2)/(0.2×10-3 m) =125×10-12F=125pF
故电极间的电压为
U0=q/Ca=(145×10-12)/(125×10-12)=1.16V
真空的绝对介电常数ε0=8.85×10-12(F/m)法拉第/米。
