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热退火用于消除离子注入造成的损伤 温度要低于杂质热扩散的温度 然而 杂质纵向分布仍会出现高

职业资格 杂质,温度 已帮助 人

热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。

热搜：热烧伤的损伤程度主要取决于。

答案解析

难度★★☆ 搜索

  • 本题答案：离子注入后会对晶格造成简单晶格损伤和非晶层形成;损伤晶体空位密度大于非损伤晶体，且存在大量间隙原子和其他缺陷，使扩散系数增大，扩散效应增强;故，虽然热退火温度低于热扩散温度，但杂质的扩散也是非常明显的，出现高斯展宽与拖尾现象。