简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求？
电极,芯片
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简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求？
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本题答案：1)能很好的阻挡材料扩散;
2)高电导率，低欧姆接触电阻;
3)在半导体和金属之间有很好的附着能力;
4)抗电迁能力强;
5)在很薄和高温下具有很好的稳定性;
6)抗侵蚀和抗氧化性好。
7)具有高的导电率和纯度。
8)与下层存底(通常是二氧化硅或氮化硅)具有良好的粘附性。
9)与半导体材料连接时接触电阻低。
10)能够淀积出均匀而且没有“空洞”的薄膜，易于填充通孔。
11)易于光刻和刻蚀，容易制备出精细图形。
12)很好的耐腐蚀性。
13)在处理和应用过程中具有长期的稳定性。