有一电容测微仪 其传感器的圆形板极半径r=5mm 开始初始间隙δ=0.3mm 问:(1)工作时 如果传感器与工件的间隙缩

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有一电容测微仪,其传感器的圆形板极半径r=5mm,开始初始间隙δ=0.3mm,问:(1)工作时,如果传感器与工件的间隙缩小1μm,电容变化量是多少?(2)若测量电路灵敏度S1=100mV/pF,读数仪表的灵敏度S2=5格/mV,上述情况下,仪表的指示值变化多少格?

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