一个电容测微仪其传感器的圆形极板半径r=4 mm 工作初始间隙δ=0.3 mm 问:工作时 如果传感器与工件

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一个电容测微仪其传感器的圆形极板半径r=4 mm,工作初始间隙δ=0.3 mm,问:工作时,如果传感器与工件的间隙变化量Δδ=±1 μm时,电容变化量分别是多少?2) 如果测量电路的灵敏度S1=100 mV/pF,读数仪表的灵敏度S2=5 格/mV,在Δδ=±1 μm时,读数仪表的指示值变化分别是多少格?

一个电容测微仪其传感器的圆形极板半径r=4 mm 工作初始间隙δ=0.3 mm 问:工作时 如果传感器与工件

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