根据原理分类 干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
原理,根据
已帮助 人
根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
-
本题答案：干法刻蚀是采用等离子体进行刻蚀的技术，根据原理分为溅射与离子铣(物理)、等离子刻蚀(化学)、反应离子刻蚀(物理+化学)。
干法刻蚀与湿法刻蚀相比具有以下优点：①刻蚀剖面是各向异性，具有非常好的侧壁控制;②良好的CD控制③最小的光刻胶脱落或粘附问题④良好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性⑤较低的化学制品使用和处理费用
然而干法刻蚀也存在一些缺点，最主要的是对下层材料的选择比不高、等离子体带来的器件损伤以及昂贵的设备。