物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

职业资格 2017-04-28 03:20:09 方法,薄膜已帮助人

难度★★☆ 搜索

本题答案：物理气相淀积：蒸发Evaporation、溅射Sputtering热蒸发法：在真空条件下，加热蒸发源，使原子或分子从蒸发源表面逸出，形成蒸气流并入射到衬底表面，凝结形成固态薄膜。溅射概念与机理：基本原理，真空腔中有一个平行板等离子体反应器，非常类似于简单的反应离子刻蚀系统。
将靶材放置在具有最大离子电流的电极上，高能离子将所要淀积的材料从靶材中轰击出来。靶与晶圆片相距十分近(小于10cm)，出射原子大部分能被晶圆所收集。