空位扩散可以__ 晶界扩散和体积扩散三种形式进行。
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晶界上原子排列混乱，与非晶体相类似，其原子堆积密集程度远不及晶粒内部，因而对原子的约束能力较弱，晶界原子的能量及振动频率ν明显高于晶内原子，所以晶界处原子具有更高的迁移能力，晶界扩散系数也明显高于晶内扩散系数。
晶界上原子排列混乱，与非晶体相类似，其原子堆积密集程度远不及晶粒内部，因而对原子的约束能力较弱，晶界原子的能量及振动频率ν明显高于晶内原子，所以晶界处原子具有更高的迁移能力，晶界扩散系数也明显高于晶内扩散系数。