离子束加工按其工艺原理和目的的不同可以分为三种：用于从工件上去除材料的刻蚀加工 用于给工件表
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(1)由于离子束可以通过光学系统进行聚焦扫描,离子束轰击材料是逐层击除原子,其流密度及离子能量可以精确控制,所以,离子束加工能够达到极高的加工精度(纳米级或亚微米级),是最有前途的超精密和微细加工方法,是纳米加工技术的基础。(2)由于是靠离子轰击材料表面来去除或注入材料,是一种微观作用,作用面积微小,所以,产生的加工应力、热变形等极小,加工表面质量好。(3)由于离子束加工是在高真空中进行,所以污染少,特别适用于易氧化的金属、合金材料及半导体材料的加工。(4)加工设备费用高、成本高、加工效率低,因此应用范围受到一定限制。