请写出扫描电子显微镜的结构原理及图像衬度观察实验报告(包括实验目的 实验原理 实验方案等)

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请写出扫描电子显微镜的结构原理及图像衬度观察实验报告(包括实验目的、实验原理、实验方案等)

请写出扫描电子显微镜的结构原理及图像衬度观察实验报告(包括实验目的 实验原理 实验方案等)

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  • 答: (1) 电子光学系统(镜筒):由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件 组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束 ( 直径一般为10nm或更小)来轰击样品,使样品产生各种物理信号。 (2) 扫描系统:扫描电镜的特殊部件,由扫描发生器和扫描线圈组成。 作用:1)使入射电子束在样品表面扫描,并使电子束在荧光屏上作同步扫描; 2) 改变入射束在样品表面的扫描振幅,来改变扫描像的放大倍数。 (3) 信号收集系统:扫描电镜应用的物理信号:二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。 吸收电子可直接用电流表测出,其他电子信号用电子收集器收集。 (4) 图像显示和记录系统:将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴 极射线显像管电子束强度的变化,这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描 点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像。