下列特点当中 哪些是脉冲激光沉积技术制备薄膜的优点?

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下列特点当中,哪些是脉冲激光沉积技术制备薄膜的优点?

A.与靶材成分容易一致

B.靶材易于制备

C.生长过程可原位引入多种气体

D.可制备的薄膜种类多

下列特点当中 哪些是脉冲激光沉积技术制备薄膜的优点?

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