二氧化硅膜在半导体生产中有哪些应用?
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对杂质的掩蔽作用;对器件表面的保护和钝化作用;用于器件的电绝缘和电隔离;作为电容器的介质材料;作为 MOS 场效应晶体管的绝缘栅材料
对杂质的掩蔽作用;对器件表面的保护和钝化作用;用于器件的电绝缘和电隔离;作为电容器的介质材料;作为 MOS 场效应晶体管的绝缘栅材料