在清洁的超高真空环境下 是具有一定热能的一种或多种分子束流喷射到晶体衬底 在衬底表面发生反应

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在清洁的超高真空环境下,是具有一定热能的一种或多种分子束流喷射到晶体衬底,在衬底表面发生反应的成膜的技术是()

A.多弧离子镀

B.离子束辅助沉积

C.分子束外延

D.化学气相沉积

在清洁的超高真空环境下 是具有一定热能的一种或多种分子束流喷射到晶体衬底 在衬底表面发生反应

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