含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是（）。

大学网课 2022-08-31 02:23:40 已帮助人

含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是（）。

A．CF4

B．BCL3

C．氮气

D．氢气

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