电镜-能谱分析方法是将EDS能谱仪和扫描电镜或者透射电镜联用 在真空室下用电子束轰击样品表面 激

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电镜-能谱分析方法是将EDS能谱仪和扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征X射线进行定性与半定量分析物质元素。

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