对于管外法制备工艺说法有误的是?

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对于管外法制备工艺说法有误的是?

A.管外法主要包括管外气相沉积法(OVD),以及气相轴向沉积法(VAD);

B.OVD工艺中,原料在氢氧焰中水解生成Si微粉,然后经喷灯喷出沉积在高速旋转的“母棒”外表面;

C.管外气相沉积法(OVD)的预制棒制备工艺由美国Corning公司开发;

D.OVD工艺中母棒的径向尺寸不受限制,因而棒的尺寸可以做得比较大。

对于管外法制备工艺说法有误的是?

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