通常采用重掺杂硅与金属接触来实现互连系统的欧姆接触 此时硅的掺杂浓度N> atoms/cm3。

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通常采用重掺杂硅与金属接触来实现互连系统的欧姆接触,此时硅的掺杂浓度N> atoms/cm3。

A.10∧18

B.10∧19

C.10∧20

D.10∧21

通常采用重掺杂硅与金属接触来实现互连系统的欧姆接触 此时硅的掺杂浓度N> atoms/cm3。

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