1 晶体中扩散主要有三种形式： 和 。 2 半导体杂质掺杂的两种方式： 和 。 3 替位原子的运动一般是
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1、晶体中扩散主要有三种形式： 、 和 。 2、半导体杂质掺杂的两种方式： 和 。 3、替位原子的运动一般是以近邻处有 为前提，且只有在 下才可能实现。 4、在硅中的下列杂质：P, Au, B, Sb, Cu, As中， 是快扩散杂质。 5、杂质扩散运动必要条件： 决定扩散的主要因素： 、 、 。 6、扩散系数与 、 、 、 以及 等因素有关，单位是 。
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各向异性;明显扩散开始温度高