什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

职业资格 2017-04-28 05:58:45 光刻,质量已帮助人

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本题答案：光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精密表面加工技术。
对光刻工艺质量的基本要求是：刻蚀的图形完整、尺寸准确、边缘整齐、线条陡直;图片内无小岛、不染色、腐蚀干净;图形套合十分准确;介质膜或金属膜上无针孔;硅片表面清洁、不发花、无残留的被腐蚀物质。