试写出光刻工艺的基本步骤。

大学网课 2022-08-31 05:24:22 已帮助人

试写出光刻工艺的基本步骤。

试写出光刻工艺的基本步骤。

热搜：危机处理的基本步骤应该包括

回答

共1条回复

①气相成底膜； ②旋转涂胶； ③软烘； ④对准和曝光； ⑤曝光后烘培（PEB）； ⑥显影； ⑦坚膜烘培； ⑧显影检查。