题3-2-7 以下不是离子注入特点的是 。

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题3-2-7 以下不是离子注入特点的是 。

A.精确控制掺杂剂量

B.精确控制掺杂能量

C.不会产生缺陷甚至非晶化

D.杂质掺杂分布非常均匀

题3-2-7 以下不是离子注入特点的是 。

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