光刻流程中通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面 并可 以増加胶层的抗刻蚀能力的工艺步骤是

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光刻流程中通过加温烘烤使胶膜更牢固地黏附在晶圆表面,并可
以増加胶层的抗刻蚀能力的工艺步骤是()。
A、坚膜
B、前烘
C、后烘
D、涂胶

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A、坚膜

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