1994年 瑞士研究团队采用甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PECVD)技术和微量 掺杂的方法制备出转
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1994年,瑞士研究团队采用甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PECVD)技术和微量 掺杂的方法制备出转换效率大于7%的单结微晶硅p-i-n电池，掀起了微晶硅薄膜太阳能电池的研究热潮。
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