以下方法可用来制备晶体硅薄膜的有()。

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以下方法可用来制备晶体硅薄膜的有()。

A.热辅助化学气相沉积(TA-CVD)

B.液相外延(LPE)

C.近空间气相输运(CSVT)

D.和离子辅助沉积(IAD)

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