题3-3-4 集成电路制造工艺中 以下不是热氧化方法的是: 。

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题3-3-4 集成电路制造工艺中,以下不是热氧化方法的是: 。

A.干氧氧化

B.湿氧氧化

C.离子氧化

D.水蒸汽氧化

题3-3-4 集成电路制造工艺中 以下不是热氧化方法的是: 。

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