题3-2-10 以下不是化学气相沉积工艺所成薄膜质量指标的是 。

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题3-2-10 以下不是化学气相沉积工艺所成薄膜质量指标的是 。

A.台阶覆盖特性

B.薄膜致密性

C.薄膜厚度均匀性

D.薄膜宽度

题3-2-10 以下不是化学气相沉积工艺所成薄膜质量指标的是 。

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