题3-2-11 以下是物理气相沉积工艺的是 。

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题3-2-11 以下是物理气相沉积工艺的是 。

A.真空蒸发

B.LPCVD

C.PECVD

D.MOCVD

题3-2-11 以下是物理气相沉积工艺的是 。

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